2010년 이후 세계반도체협의회(WSC) 차원으로 세계반도체협의회 PFC 배기가스저감 우수사례 지침(Best Practice)을 자발적 PFC(Perfluorocompound) 배출저감프로그램을 효과적이고 효율적으로 달성하기 위해 WSC 회원국들이 참고할수있는 모범사례로 설정하였다.업계에서는 모범사례가 시행되면 2020년 기준치인 2010년 집계 기준치대비30% NER 감소에 해당하는 0.22kg CO2e/cm2의 정규화 배출량(NER)이 발생할것으로 보고 있다. 모범 사례는 WSC에 의해 지속적으로 검토되고 업데이트한다.