상품명 및 HS 코드광각기(이하 리소그래피 기계, Lithography Machine)*는 반도체 칩을 제조하는 핵심 장비로 높은 기술력을 요하는 반도제 핵심 제조 장비 중 하나다. 리소그래피는 집적회로 제작 시 실리콘 칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학 처리나 확산 처리하는 기술을 말한다. 이 기술의 핵심은 짧은 파장의 빛을 사용해 정밀도를 높이는 것으로 처음에는 가시광선, 자외선을 사용했으나 최근에는 전자빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다.*주: 리소그래피 기계는 전에는 포토리소그래피 기계(Photolithography Machine)로 불렸으나 현재는 리소그래피 기계, 리소그래피 시스템 등으로 불린다.