초순수(Ultrapure Water) [KISTEP 브리프 138]
STOCKZERO
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06.21 09:00
ㅁ 고도로 정제된 물을 의미하는 초순수(Ultrapure water)는 반도체・디스플레이 등 첨단 제조업에서 사용하는 산업 필수 인프라ㅇ 초순수는 활용 목적에 따라 정제 사양(수중 불순물의 허용농도)에 차이가 있지만, 통상적으로 가장 엄격한 수준의 수질을 요구하는 반도체 제조용 공업용수를 초순수라 지칭- 나노미터 단위의 초미세 제조공정을 거쳐 생산되는 반도체는 미세한 오염원도 이상 패턴 및 결함의 원인이 될 수 있어 불순물을 깨끗하게 씻어내야 함. 이때, 수중이온을 모두 제거하여 전류가 흐르지 않는 초순수로 표면을 세정- 반도체 제조용 초순수 수질 기준 : 비저항 18.2MΩ・cm 이상(25℃), TOC 1ppb 이하 등※ 일반 수돗물의 비저항 : 1~5MΩ・cm 수준(25℃), Ca2+, Mg2+ 등 이온을 포함하고 있음ㅁ 반도체 산업의 초격차 확보를 뒷받침하고 물산업 생태계 강화 측면에서 초순수 기술의 동향을 살펴볼 필요ㅇ 정부가 반도체 산업 육성을 위한 정책적 지원을 집중하고 있는 만큼 안정적인 산업용수 공급계획 마련 및 첨단 수처리 기술 확보가 함께 추진되어야 함ㅇ 초순수 기술은 수처리 분야의 정점인 종합 기술로, 반도체 산업의 필수 소재를 생산할 뿐만 아니라 하수재이용・해수담수화 등 수처리 산업 전반의 경쟁력 확보로 연계 가능ㅇ 본 고에서는 반도체 산업이 마주한 변화가 초순수 산업에 미치는 영향을 중심으로 주요 기술개발 이슈 및 우리의 현 위치를 살펴보고자 함